Análise de processos de oxida^áo com trans-lc para fabricacáo de células solares

Abstract

Apesar do filme para passivagáo padrao da indústria de células solares atual ser SiNx, as últimas tendencias do mercado fazem com que seja necessário reavaliar o SiO2 para passiva^ao das superficies de células solares.  Para crescer estes óxidos,  no  entanto,  sao  necessárias etapas de processamento em altas temperaturas, que deixam as láminas de silicio suscetíveis a contaminares metálicas. Para evitar essa contaminado, o composto orgánico Trans-LC é utilizado para limpeza do tubo de oxidado. O objetivo deste trabalho é avahar a efícácia deste composto para limpeza dos tubos e determinar a qualidade da passiva^áo que os óxidos produzidos desta forma proporcionam para as láminas de Si. Observou-se que as limpezas realizadas nao foram capazes de prevenir a contaminado de láminas de Si de alto tempo de vida inicial. Porém, o Trans-LC foi suficientemente eficaz para oxidaQóes realizadas em láminas de baixo tempo de vida dos portadores minoritários.