Celdas solares de silicio cristalino en la CNEA: Avances en el último año
Abstract
Se presentan los avances realizados, desde octubre de 1993 hasta el presente, en el desarrollo y la puesta a punto del proceso de elaboración de celdas solares a. partir de obleas de silicio cristalino.
Como material de partida se utilizaron obleas tipo p, dopadas con boro, con resistividades entre 0,7 y 10 Ωcm. Se realizaron 70 experiencias de pre-deposición con diversos tiempos de burbujeo, entre 2 y 20 minutos, a través de la fuente líquida de POCl3. Ello permitió analizar la repetibilidad del proceso y hallar la correlación entre el tiempo de burbujeo y las características de la juntura obtenida.
Como proceso alternativo a 1a. difusión en horno, se realizaron las primeras experiencias de implantación iónica de P, a partir de una. fuente gaseosa de fosfamina, seguida de un proceso de recocido.
Los depósitos de contactos metálicos se continuaron realizando por evaporación en cámara de vacío de una multicapa de Ti-Pd-Ag, utilizando dos técnicas diferentes parala formación de la grilla. Como técnicas antirreflectantes se utilizaron el texturado superficial y el depósito por evaporación de capa, antirreflectante de SiO. Se hicieron cálculos teóricos de diseño y optimización de multicapas antirreflectantes sobre superficies planas o texturadas.
Se presentan los resultados obtenidos y se comparan los valores experimentales con simulaciones teóricas.